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제품 상세 정보
초고해상도 송신 스캔 전자 현미경 Regulus 시리즈
기존 모델인 SU8240, SU8230, SU8220 및 SU8010을 재통합하여 Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100으로 파생되었습니다.
'Regulus 시리즈'는 기존 모델의 관찰 및 분석 성능을 계승하여 SU8200 시리즈의 저소음 냉장 발사 전자총을 장착하였다*1, 높은 안정된 속류를 얻을 수 있습니다.
전자 광학 시스템의 최적화를 통해 Regulus8240/8230/8220은 1kV 조건에서 0.7nm, Regulus8100은 0.8nm로 해상도가 향상되었습니다.
또한 초고해상도의 능력을 충분히 발휘하기 위해 증폭배율도 과거 100만배에서 200만배로 높아졌다*1。
Regulus8240/8230/8220/8100은 또한 사용자 지원 기능을 보완하여 이 기능을 통해 사용자가 각종 복잡한 신호의 검측 원리를 더욱 쉽게 이해하고 사용자가 기기의 최상의 성능을 충분히 발휘할 수 있도록 돕는다.
- *1
- Regulus8240/8230/8220 전용
-
특징
-
사양
특징
- "SU8200 시리즈"의 냉장을 그대로 사용하여 전자총을 발사하다*2
- 전자빔이 Flashing 후에 나타나는 높은 밝기 안정 영역을 안정적인 관찰의 구간으로 채택하여 낮은 가속 전압 조건에서 고해상도 관찰과 분석의 최적의 성능을 겸비하게 한다
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 오염이 적고 고진공 샘플 창고를 채택하다
- 에너지 필터(옵션)를 사용하여 다양한 성분 대비 관찰 가능*2
극저 착륙 전압 아래 고해상도 관찰
견본: 금 알갱이
착륙 전압: 10V
초고해상도 관찰
샘플: Pt 촉매
가속전압: 30kV
저가속 전압에서 고해상도 EDX 분석
샘플: Sn 볼
착륙 전압: 1.5kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220 전용
사양
| 프로젝트 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2차 전자 해상도 | 0.7 nm (가속전압 15kV) 0.8 nm (착륙 전압 1kV)*3 |
0.6nm(가속전압 15kV) 0.7nm(착륙전압 1kV)*3 |
|||||
| 착륙 전압 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 배율 확대 | 20~1000000배*4 | 20~2000000배*4 | |||||
| 견본대 | 견본대 제어 | 3축 모터 (옵션 5축 모터) | 5축 모터 구동 | ||||
| 범위 이동 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 재현성 | - | - | - | ±0.5µm 이하 ±0.5µm 포함 | |||
- *3
- 감속 모드에서 관찰
- *4
- 127mm × 95mm 필름 기준 배율
관련 제품 분류
- 초점 이온 빔 시스템(FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM 샘플 전처리 장치
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