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제품 상세 정보
이점
• 센서 부분은 하스 합금으로 부식에 강하다.
• 100% ~ 25%까지 높은 제품 정밀도: ± 1.0% of S.P., 25% ~ 2%: ± 0.25% F.S. 빠른 응답 시간(≤ 1s)
• 제품의 다기체 다량정 기능으로 기체 종류, 유량 변경 설정 가능
• 대용량 트래픽(최대 1000L까지) 디지털 모드 통신 모드 지원
• CE, RoHS 인증 제품
기술 매개변수
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모델 |
K1000A |
K1000B |
K1000C |
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트래픽 사양(N2 대체 트래픽) |
Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM |
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Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM |
Bin 6: 3SLM ~10SLM |
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60SLM 、100SLM、 |
200SLM、300SLM、 |
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Bin 3: 100SCCM~300SCCM |
Bin 7: 10SLM~ 30SLM |
Bin 8: 30 SLM ~50SLM |
150SLM、200SLM |
400SLM、500SLM |
600SLM, 1000SLM(N2, H2, Air 등) |
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Bin 4: 300 SCCM ~1SLM |
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Bin 5: 1SLM ~3SLM |
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밸브 유형 |
N/O: 상시 개방형, N/C: 상시 폐쇄형 |
N/C: 상시 폐쇄형 |
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트래픽 제어 범위 |
2%～100%F.S. |
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정확도 |
100%～25%：±1.0% of S.P.， |
±1% F.S. (정밀도 보증범위 15~35도) |
±2%F.S.(정밀도 보증범위 15~35도) |
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작업 환경 온도 |
5～50℃ |
5～45℃ |
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응답 시간 |
≦1sec |
≦3sec |
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선형 |
±0.5%F.S. |
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반복 정밀도 |
±0.2%F.S. |
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작업 압차 범위 |
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N/O100～300KPa (3SLM～10SLM) |
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50～300KPa |
N/O150～300KPa (11SLM～30SLM) |
200～300KPa |
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（Ar: 100～300KPa） |
N/C100～300KPa (3SLM～30SLM) |
（Ar: 250～450KPa） |
100～300KPa |
150～300KPa |
300～450kPa (H2：150～300kPa) |
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（Ar 200～3500KPa） |
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온도계수 |
Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ |
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최대 작업 부담 |
400KPa（Ar:500KPa） |
700KPa |
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내압 |
1MPa |
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누락률 |
금속 밀봉: 1 × 10－11Pa・m3/sec He (1×10－10atm・cc/sec He) |
고무줄 밀봉: 1 × 10-7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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고무줄 밀봉: 1 × 10－7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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밀봉 재료 |
금속 밀봉;불소고무;네오프렌 |
불소고무;네오프렌 |
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통신 형식 |
아날로그: 0~5V DC 디지털: RS485, DeviceNet, EtherCAT |
아날로그: 0~5V DC 디지털: RS485, DeviceNet, |
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전원 공급 장치 |
아날로그/디지털: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA, DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W) |
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표준 조인트 형식 |
VCR 1/4양 커넥터, 듀얼 케이스 1/4양 커넥터, 1.5''W-Seal, 1.125''W-Seal, 1.125''C-Seal |
VCR 3/8 양지, 듀얼 카드 세트 3/8 양지 |
VCR 1/2양 커넥터, 듀얼 케이스 1/2양 커넥터 |
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무게 |
1.0kg |
3.0kg |
3.7kg |
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