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제품 상세 정보
자세한 내용:
필름 두께 제어기
기술적 특징:
1. 사용하기 쉬운 전체 터치스크린 조작;
2.32개 막계, 각 막계50/100층 자동 도금;
3. 12회로 신호 입력/12회로 스위치 출력;
4. 완전 자동, 반자동, 수동 제어 모드 제공;
5.제어 가능2하나의 소스, 한 세트의 작업 다른 세트의 사전 용해;
기술 매개변수
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CY-FDC-S 컨트롤러 |
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크리스털 주파수 |
6MHz(2.5M 3M 5M 9M 크리스털 옵션) |
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표시 방법 |
5"컬러 터치 스크린 + 디지털 튜브 디스플레이 속도 및 두께 |
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작동 방식 |
터치스크린 |
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종후 |
00μ0000Å-99μ9999Å |
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두께 디스플레이 해상도 |
1Å/s |
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속도 디스플레이 해상도 |
0.1Å/s |
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도금 층수 |
32막계, 막계당 50/100층; |
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프로브 수 |
A B |
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도구 계수 |
0.01-99.99 |
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시간 표시 |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
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전력 디스플레이 |
0～99.9% |
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사전 용해 전력 |
0～99% |
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사전 도금 전력 |
0～99.9% |
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미리 녹는 시간 / 미리 도금하는 시간 |
0～99:99 m:s |
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사전 용해 보온 시간 / 미리 도금된 인슐레이션 시간 |
0～99:99 m:s |
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도금 속도 (속도 설정) |
0～999.9Å/s |
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재료 저장 |
257+ 사용자 지정 10가지 |
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통신 |
RS232/RS485 |
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제어 가능한 증발원 |
2개, 한 세트의 작업 및 다른 세트의 사전 용해 가능 |
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출력 제어 |
±10V/5V/2.5V |
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I/ 인터페이스 |
12번 신호 입력 / 12번 스위치 출력 |
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도가니 수량 조절 가능 |
1-16개 |
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도금 디스플레이 |
속도 커브 / 수치 |
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도금 순회 횟수 |
필름당 50/100층 자동 |
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섀시 크기 |
480 × 280 × 89mm(2U 19인치 섀시) |
특수 기능:
1, 수동, 반자동, 자동3다양한 도금기 배치를 만족시키는 도금 모드;
2, 인공 도금 중지: 도금 과정 중 인공 도금 중지;
3, 수동 제어: 첫 번째 도금 공정 요구를 확정한다;
4, 중단막계: 자동 및 반자동 도금에서 문제가 발견되거나 고장이 발생하여 도금을 중지하고 현재 상태를 자동으로 보존할 수 있으며 고장 * * 후 중단막계에서 도금을 계속할 수 있습니다.
5, 자동 또는 반자동 도금 시, 만약 웨이퍼 진동이 효력을 상실할 경우, 도금 종료, 현재 출력 시간에 따라 도금, 웨이퍼 전환 계속 (다중 웨이퍼 프로브) 을 선택할 수 있다;
6, 두 소스 동시 용해: 현재 레이어 도금 시작 과정 중 동시 쌍 선택 가능2레이어를 미리 녹여 시간에 대한 요구가 부족한 상황을 만족시킨다;
7, 암호 보호: 막계와 막층 파라미터 암호 보호 기능, 공예 파라미터가 비공예 인원에 의해 수정되지 않도록 보호한다;
8, 도금 데이터 기록: 자동 또는 반자동 도금 시 시스템은 각 층의 성막 시간, * 최종 두께 속도 파라미터를 기록할 수 있다.
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