특징
• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC
• 파이프 분류, 긴 수명
기술 매개변수
번호 지정 |
프로젝트 |
D07-7K형 |
D07-7B형 |
D07-7C형 |
D07-7CM형 |
1 |
트래픽 사양 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 |
정확도 |
±1 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
3 |
선형 |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
4 |
반복 정밀도 |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
5 |
응답 시간 |
전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec
|
전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec |
전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec |
10 sec |
6 |
기압강하 |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
<0.01 MPa |
7 |
작업 압차 범위 |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
<0.01 MPa |
8 |
온도계수 |
Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
9 |
최대 작업 부담 |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
10 |
내압 |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
11 |
작업 환경 온도 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 |
입출력 신호 |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
13 |
전원 공급 장치 |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA
|
14 |
폼 팩터 크기 |
그림 4 참조 |
그림 4 참조 |
그림 4 참조 |
그림 5 참조 |
15 |
무게 |
1.1 kg |
1.1 kg |
1.1 kg |
0.92 kg |