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>제품>D07-7 질량 유량 컨트롤러 & 유량계
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D07-7 질량 유량 컨트롤러 & 유량계
D07-7은 열식 질량유량계로, 질량유량제어기는 각종 가스에 대한 측정과 제어에 응용할 수 있으며, 측정 외에 가스의 질량유량도 정밀하게 제어할 수 있으며, 질량유량계(MFM)는 가스의 질량유량을 정밀하게 측정할 수 있다.D07-7 제품은 칠성류량계의 기초제품으로서 고
제품 상세 정보

특징

• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC

• 파이프 분류, 긴 수명

기술 매개변수

번호 지정

프로젝트

D07-7K형

D07-7B형

D07-7C형

D07-7CM형

1

트래픽 사양

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)

SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

2

정확도

±1 % F.S

±1.5 % F.S

±1.5 % F.S

±1.5 % F.S

3

선형

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

4

반복 정밀도

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

5

응답 시간

전기 특성: 10 sec;

가스 특성: ≤ 4 sec

전기 특성: 10 sec;

가스 특성: ≤ 4 sec

전기 특성: 10 sec;

가스 특성: ≤ 4 sec

10 sec

6

기압강하

ˉ

ˉ

ˉ

<0.01 MPa

7

작업 압차 범위

(0.1 ~ 0.5) MPa

(0.1 ~ 0.5) MPa

(0.1 ~ 0.5) MPa

<0.01 MPa

8

온도계수

Zero:≤±0.1% F.S./℃;

Span: ≤±0.2% F.S./℃;

ˉ

ˉ

ˉ

9

최대 작업 부담

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

10

내압

3 MPa

3 MPa

3 MPa

3 MPa

11

작업 환경 온도

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

12

입출력 신호

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

13

전원 공급 장치

+15 V 50 mA;

-15V 200 mA

+15 V 50 mA;

-15V 200 mA

+15 V 50 mA;

-15V 200 mA

+15 V 50 mA


-15 V 50 mA

14

폼 팩터 크기

그림 4 참조

그림 4 참조

그림 4 참조

그림 5 참조

15

무게

1.1 kg

1.1 kg

1.1 kg

0.92 kg

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